氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。
氦質譜檢漏儀的進展：
經過近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現在如下幾個方面：
（1）便攜式：zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。
（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。
（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的
氦質譜檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。
（5）檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
氦質譜檢漏儀自身保養小知識
（1）前級真空泵的定期換油及深度保養；
（2）電磁閥組的超聲清洗；
（3）質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。
氦質譜檢漏儀主要配置采用檢漏儀定制產品。設備內芯的制造借鑒*技術，整機設置合理、性能穩定。具有靈敏度高，反應快，開機時間短等特點。檢漏效果達到*水平。
